RFMEMs相关论文
采用理论计算和专用计算机辅助设计软件,研究了膜桥结构RF MEMS开关梁的厚度、长度、弹性系数和空气间隙等结构参数对阈值电压的影......
介绍了目前处于国际前沿领域的RF MEMS技术动态.且对加工工艺、加工手段,以及在加工、封装和应用中所面临的技术难点作了详细介绍.......
对微机械电容、微机械电感、微机械谐振器/滤波器、微机械传输线、微机械天线阵列和微机械开关等RF MEMS器件的特点、研究现状及其......
本文报道了RFMEMS开关的瞬态响应实验过程以及结果,采用示波器对开关的波形进行了时域记录.实验数据显示,开关在达到域值电压之前,......
欧洲国际微电子学中心(IMEC)安装了一台型号为SUSS PAV150的测试设备,用以在高真空环境中测试微机电系统(MEMS)器件(特别是RFMEMS......
据市场调研公司WTC公布的数据,射频微机电系统(RF MEMS)在2004年的市场规模约为1.25亿美元,预计到2009年这一市场将迅速增长到11亿......
本文设计并制作了一种用于Ka波段分布式MEMS传输线(DMTL)移相器的MEMS电容式并联开关.通过理论计算和工程经验,大致定义了开关的结......
射频微电子机械系统RF MEMS开关的高隔离度与低插入损耗特性,同开关自身的结构参数密切相关.为了得到更好的开关性能,在设计过程中......
本文针对一字型悬臂梁RF MEMS开关,提出了两种降低驱动电压RF MEMS开关的方法,分别为:增大局部驱动面积和降低弹性系数.根据这两种......
本文对微机械电容、微机械电感、微机械谐振器/滤波器、微机械传输线、微机械天线阵列和微机械开关等RFMEMS器件的特点、研究现状......
用ANSYS软件对RF MEMS接触悬臂开关模型进行力电耦合分析,比较了几种情况下的驱动电压,讨论了驱动电压与杨氏模量、悬梁的几何尺寸......
介绍了MEMS-IMU、RF MEMS和MOEMS等MEMS技术的基本内涵、特点及国外发展情况.重点介绍和分析了各项MEMS技术在战术导弹制导、导航......
提出了一种新颖的运用于射频通信系统VCO中的RFMEMS可变电容.该电容使用平行板和T形梁结构,使用硅衬底,整个结构由铝材料组成,结构......
RFMEMS移相器具有传统移相器所无法比拟的体积小、损耗小、成本低、频带宽、易于集成等突出优点。通过在共面波导信号线上贴敷低介......
介绍了一种K波段双桥结构的电容式RF MEMS开关，该开关的结构特点是，以共面波导上的悬空金属膜为双桥结构，并且膜桥的支撑呈折叠弹簧结......
